随着半导体设备国产化进程加快,超高洁净度要求的真空腔体、反应腔钣金件成为攻关重点。珠三角多家精密钣金厂引进轨道式自动氩弧焊及电解抛光产线,通过控制焊缝粗糙度和颗粒物残留,成功满足Class 10级洁净室装配标准。这一突破打破了长期以来高端半导体腔体依赖进口的局面,为国内设备厂商提供了更稳定的供应链选择。
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随着半导体设备国产化进程加快,超高洁净度要求的真空腔体、反应腔钣金件成为攻关重点。珠三角多家精密钣金厂引进轨道式自动氩弧焊及电解抛光产线,通过控制焊缝粗糙度和颗粒物残留,成功满足Class 10级洁净室装配标准。这一突破打破了长期以来高端半导体腔体依赖进口的局面,为国内设备厂商提供了更稳定的供应链选择。